真空炉是一种高温真空设备，主要由炉体、加热元件、真空体系、气体放控体系、记录仪等部分组成。

真空炉一般由主机、炉膛、电热设备、密封炉壳、真空体系、供电体系、控温体系和炉外运输车等组成。密封炉壳用碳钢或不锈钢焊成，可拆卸部件的接合面用真空密封材料密封。为防止炉壳受热后变形和密封材料受热变质，炉壳一般用水冷或气冷降温。炉膛位于密封炉壳内。依据炉子用处,炉膛内部装有不同类型的加热元件，如电阻、感应线圈、电极和电子枪等。熔炼金属的真空炉炉膛内装有坩埚，有的还装有自动浇注设备和装卸料的机械手等。真空体系主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。

真空淬火（回火、退火）就是经过把资料或零件在真空状态下按工艺规程加热、冷却来到达预期性能的一种处理方法。

真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛顶用管道与高真空泵系统联接。炉膛真空度可达133×(10-2～10-4)Pa。炉内加热系统可直接用电阻炉丝(如钨丝)通电加热，也可用高频感应加热。最高温度可达3000℃左右。首要用于陶瓷烧成、真空锻炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊，以及陶瓷-金属封接等。

真空炉石墨导电杆是一种以石墨为主要原料制成的导电资料，具有高导电率、低电阻、耐高温、耐腐蚀等优点。石墨导电杆可以用于各种电热设备、电解槽、电镀设备等需要高导电功能的场合。

真空炉石墨衔接片是一种广泛应用于高温、高压、腐蚀等恶劣环境中的衔接元件，其作业原理首要根据石墨的优异功能。石墨是一种由纯碳组成的矿物，具有极高的耐腐蚀性、杰出的导热性和导电性，以及较低的热膨胀系数等特色。这些特色使得石墨衔接片在各种极端环境下都能保持稳定的功能。

真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热办法比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空烧结炉是运用感应加热对被加热物品进行保护性烧结的炉子，可分为工频、中频、高频等类型，可以归属于真空烧结炉的子类。