真空热处理电炉常用的电热资料主要有如下几种:
　　1、合金电热资料:主要是指铁铬铝合金与镍铬合金两种。它们的一起特点是:电阻系数较大，电阻温度系数较小，耐热性好，因而，在加热过程中作业安稳。但在真空下，因为铬元素的蒸气压高，简单蒸发，所以运用范围受到必定的约束。一般只能用在中、低温文中、低真空热处理炉或外热式真空热处理炉上。
　　镍格合金加工功能好，制造简单，经高温加热不易脆化，便于返修和焊接，具有较好的抗氮气才能，但抗渗碳才能差。铁格铝合金是我国应用广泛的电热资料，它具有较强的扰渗碳、耐硫、耐各种碳氮气体的才能。但其加工功能差，制造较难，经高温加热后晶拉变粗，材质变脆，不便于返修和焊接。
　　2、纯金属电热资料:主要有铂、相、钨、钽等，它们的一起特点是熔点高，抗氧化功能差，只能在真空或维护气氛下运用。因为它们的电阻系数小，电阻温度系数大，因而，跟着温度的变化，炉子功率有很大的变化。为了安稳功率，有必要选用调压器调节。
　　3、非金属电热资料:主要碳化硅、二硅化相和石墨，其功能见下表。因为碳化硅在真空下粘结剂易分解，二硅化铝在真空下超过1300℃时会软化，所以，真空热处理电炉较少选用这两种电热资料。石墨具有热膨胀系数小，加工功能好，耐高沮、耐急冷急热性好以及价格低廉等长处，但在高温下石墨与氧亲和力很强，所以，应在还原性维护气氛和真空下运用。现在，石墨已广泛地应用在真空热处理电炉上。