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真空炉温度均匀性的丈量进程
  1、准备工作
  将丈量热电偶及控温热电偶按GB/J351—1996《中华人民共和国国家计量判定规程》中相关规定进行检测,检测合格方能进行炉温均匀性测定。自炉体拆下测温孔的盖板,将9根通过检测合格的热电偶顺次穿上密封垫圈、橡胶垫圈,自法兰孔中引入炉腔内,并顺次按图1方位固定在坐落炉门口支撑架上,支撑架的尺度为有用加热尺度。将支撑架当心地移入炉腔内,放在炉床上,调整其方位,使之恰好与有用加热空间重合。固定测温法兰的热电偶孔,顺次放入密封垫圈,橡胶垫圈上涂布真空脂,旋紧压紧螺栓,安装好法兰。
  按操作规程手动先后发动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空,直到工作真空度抵达2Pa后,停机30min,调查真空计读数,看压升率是否在正常的0.5Pa/h之内,正常则持续进行炉温均匀性的丈量,不正常则从头调整旋紧螺栓,从头测定压升率,直到正常,才干持续进行炉温均匀性的测定。
  2、测定进程
  根据工艺需求进行选定丈量温度点为650℃、850℃和1000℃,在FP21控温外表上,设定升温曲线。在操控偶到设定温度120min后,开始测定各支热电偶的值。每隔5min读取1次,接连3次,假如各点温度在所要求温度的±5℃以内,则此温度点丈量完毕,不然持续等温,直到温度均匀或时刻抵达3h(工艺设定的保温时刻)为止并记载各点的温度。调整FP21表,自650℃升温至850℃,保温120min,重复650℃温度点丈量过程。
  同样自850℃升温到1100℃,保温120min,重复650℃温度点丈量过程。以上数据别离填入记载表中,完结测定后,按正常的空炉冷却过程进行降温。
  3、恢复设备
  打开炉门,拉出丈量支架,拆开固定热电偶的铁丝,拆下法兰盘,安装好原盖板,按正常运用进行压升率测试,按操作规程手动先后发动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空,直到工作真空度抵达2Pa后,停机30min,调查真空计读数,看压升率是否在正常的0.5Pa/h之内,合格则持续,设备能够正常运用,不然持续从头安装原测温口盖板。从测温法兰盘中拆下丈量热电偶,留意抽出时要当心取直,以避免折断、损坏热电偶。

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