真空炉即在炉腔这一特定空间内利用真空体系(由真空泵、真空丈量设备、真空阀门等元件通过精心拼装而成)将炉腔内部分物质排出,使炉腔内压强小于一个标准大气压,炉腔内空间从而实现真空状况,这便是真空炉。
在挨近真空状况下通过电热元件加热的工业炉、实验炉。真空环境中进行加热的设备。在金属罩壳或石英玻璃罩密封的炉膛顶用管道与高真空泵体系联接。炉膛真空度可达133×(10-2~10-4)Pa。炉内加热体系可直接用硅碳棒或硅钼棒通电加热,也可用高频感应加热。最高温度可达2000℃左右。主要用于陶瓷烧成、真空冶炼、电真空零件除气、退火、金属件的钎焊,以及陶瓷、金属封接等。
真空炉是在真空环境中进行加热的设备,一般由炉膛、电热设备、密封炉壳、真空体系、供电体系和控温体系等组成。真空炉按加热元件分为真空电阻炉、真空感应炉、真空电弧炉、真空自耗电弧炉、电子束炉和等离子炉等。