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一、真空炉温度均匀性丈量的原理 
( 1) 真空炉温度均匀性的测定采纳炉体控温系统操控加热温度,外加热电偶进行记载的丈量方法。温度均匀性的测定仪器有热电偶转换开关,WRNK —121 型??3mm×3000mm 的丈量热电偶,其丈量范围为0 ~1300 ℃,日本岛电SR93 数显温度表、补偿导线。
( 2) 在炉体的炉门端的一侧有一测温口。丈量时拆下原盖板,安装上带有9 孔的测温法兰,丈量热电偶通过法兰接入炉腔内并固定在支架上。安装丈量热电偶时需加密封垫圈、橡胶垫圈及真空脂用压紧螺栓进行压紧密封,以避免漏气
( 3) 依据KES78. 311. 1 规范有关要求,真空炉炉温的丈量采纳有用加热区9 点丈量的方法 。在600 mm×600mm×900mm 的有用作业空间内作9 点布置,任一个平面内均有3 个热电偶。 
二、真空炉温度场构成的特点 
真空炉的发热元件一般呈圆形布置。真空加热相对一般炉来说,其传热方法只要辐射,没有传导和对流;非真空加热时有传导、对流和辐射三种方法,其间对流、传导依据压力的不同又与一般炉( 惯例压力) 同。压力小于1 ×105Pa(一般炉的近似作业压力) 时,其对流、传导效果小于一般炉; 压力接近作业真空度( 2Pa) 时,其对流、传导效果根本不存在,工件升温缓慢,特别是低于600 ℃ 以下加热时,加热更为缓慢,工件温度相对控温热电偶的温度有滞后现象。 
三、真空炉温度均匀性的丈量进程 
1. 准备作业 
自炉体拆下测温孔的盖板,将9 根经过检测合格的热电偶依次穿上密封垫圈、橡胶垫圈,自法兰孔中引入炉腔内,并依次按图1 位置固定在位于炉门口支撑架上,支撑架的尺度为有用加热尺度。将支撑架当心肠移入炉腔内,放在炉床上,调整其位置,使之刚好与有用加热空间重合。固定测温法兰的热电偶孔,依次放入密封垫圈,橡胶垫圈上涂布真空脂,旋紧压紧螺栓,安装好法兰。 
按操作规程手动先后发动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空,直到作业真空度抵达2 Pa 后,停机30 mi n ,调查真空计读数,看压升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之内,正常则持续进行炉温均匀性的丈量,不正常则从头调整旋紧螺栓,从头测定压升率,直到正常,才能持续进行炉温均匀性的测定。 
2. 测定进程 
依据工艺需求进行选定丈量温度点为650 ℃、850 ℃和1000 ℃,在FP21 控温外表上,设定升温曲线。在操控偶到设定温度120min 后,开始测定各支热电偶的值。每隔5min 读取1 次,连续3 次,假如各点温度在所要求温度的±5 ℃ 以内,则此温度点丈量结束,不然持续等温,直到温度均匀或时刻抵达3h ( 工艺设定的保温时刻) 停止并记载各点的温度。调整FP21 表,自650 ℃升温至850 ℃,保温120min,重复650 ℃温度点丈量步骤。 
同样自850 ℃升温到1100 ℃,保温120min,重复650 ℃温度点丈量步骤。以上数据别离填入记载表中,完结测定后,按正常的空炉冷却步骤进行降温。 
3. 恢复设备 
翻开炉门,拉出丈量支架,拆开固定热电偶的铁丝,拆下法兰盘,安装好原盖板,按正常使用进行压升率测试,按操作规程手动先后发动真空机械泵、真空罗茨泵抽真空,直到作业真空度抵达2Pa 后,停机30min,调查真空计读数,看压升率是否在正常的0. 5Pa/ h 之内,合格则持续,设备可以正常使用,不然持续从头安装原测温口盖板。从测温法兰盘中拆下丈量热电偶,注意抽出时要当心取直,以避免折断、损坏热电偶。 
四、结语 
 ( 1) 真空炉的炉温均匀性的丈量不同于一般炉,丈量时需保证炉体的正常作业条件下的真空度及压升率,才能正确测定炉温。 
 ( 2)在真空作业状况中,有用加热区的温度误差在正常保温时刻内可以到达±5 ℃,满意工艺需要。
 ( 3) 由于真空炉的传热方法与一般炉不同,实际测温进程表明操控热电偶的温度值在保温初期与有用加热区丈量热电偶的温度值的差别较大。

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