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真空炉是一种可以在高温下制备资料的设备,一般需要在载体(如石英管)内部抽出气体,以创造一个低压环境。在真空炉中,真空度是一个非常要害的指标。
一般来说,真空炉的真空度要求应该在10^-5至10^-6的范围内,即每立方厘米的气体分子数在这个范围内。一般情况下,真空度越高,资料的制备质量就越高,因此对某些特殊范畴(如航空、航天)的资料制备,真空度要求可到达10^-8乃至10^-10。
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