1、水冷设备，真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置(水冷电极)、中心真空隔热门等部件，均在真空、受热状态下作业。在这种极为晦气的条件下作业，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不焚毁。因而，各部件应该根据不同的状况设置水冷设备，以保证真空热处理炉能够正常运转并有足够的运用寿命。
  2、选用低电压大电流：在真空容器内，当真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会发生辉光放电现象。在真空热处理炉内，严重的会发生弧光放电，焚毁电热元件、隔热层等，造成重大事故和丢失。因而，真空热处理炉的电热元件的作业电压，一般都不超越80—100伏。一起在电热元件结构设计时要采纳有用措施，如尽量防止有顶级的部件，电极间的距离不能太小窄，以防止辉光放电或许弧光放电的发生。
  3、大部分加热与隔热资料只能在真空状态下运用：真空热处理炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下作业的，因而对这些资料提出了耐高温，蒸汽压低，辐射作用好，导热系数小等要求。对立氧化功能要求不高。所以，真空热处理炉广泛选用了钽、钨、钼和石墨等作加热与隔热构料。这些资料在大气状态下极易氧化，因而，常规热处理炉不能选用这些加热与隔热资料。
  4、严厉的真空密封：金属零件进行真空热处理均在密闭的真空炉内进行，因而，取得和保持炉子原定的漏气率，保证真空炉的作业真空度，对保证零件真空热处理的质量有着非常重要的意义。所以真空热处理炉的一个关键问题，便是要有可靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空功能，在真空热处理炉结构设计中必须道循一个基本原则，便是炉体要选用气密焊接，一起在炉体上尽量少开或许不开孔，少选用或许防止选用动密封结构，以尽量削减真空走漏的机会。安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电极、热电偶导出设备也都必须设计密封结构。