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真空炉工件变色毛病的扫除方法
    真空炉一旦呈现工件变色毛病,最要害的是如何快速判别工件变色的原因,然后再依据毛病原因来定位毛病点,然后扫除毛病。
理论上,我们能够通过测验压升率和极限真空度是否满足要求(压升率低于0.67Pa/h,极限真空度高于5×10-3Pa)来承认工件变色原因是否是真空体系原因。而在实际修理中,因为真空丈量规管的误差偏大(真空规管误差半个数量级都认为是合格的),再加上真空规管丈量量程的局限(高低真空规管切换在1Pa左右,而压升率的丈量需用同一规管),真空室压升率和极限真空度很难精确丈量,除非设备呈现大的漏点,不然很难通过这两个值来判别毛病原因。因此,对工件变色毛病,一般采用扫除法判别:
   (1)首先检测真空炉的极限真空度是否有很大的改变,假如改变很大,基本可判别为真空体系呈现问题,直接对设备真空体系进行测验或检漏,假如改变不大,可进入下一步操作。
   (2)对真空炉进行高温洗炉,自然冷却,并在常温下对真空室测验压升率,依据压升率判别变色原因。
   (3)装入试环,按正常工艺曲线加温,自然冷却,假如试环不变色,可扫除真空体系原因,需求再试一炉充气冷却,然后判别是否冷却氮气原因。若试环变色,可承认变色原因为真空体系原因。
   (4)假如承认变色原因为真空体系毛病,就需求对真空体系进行检测,依据极限真空度以及压升率来综合判别毛病原因为漏气或泵体系抽气效率不够,然后承认是否需求检漏或对泵体系进行维护。
    在实际修理中,因为整个流程完成需求较长的停机时间,有时需求依据修理经历对一些或许引起工件变色的部位进行直接查看。而在检漏过程中,需求对每一个或许漏气的当地反复查看,逐个进行扫除。

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