真空炉可以实现真空淬火和回火、真空退火、真空固溶和时效处理、真空烧结、真空化学热处理以及真空镀膜等工艺，因此真空炉可实现其他热处理设备无法处理的复杂工艺。

真空炉的分类有真空钎焊炉、真空气淬炉、真空烧结炉、真空退火炉、真空回火炉、真空油淬炉、真空渗碳炉等类型。