真空热处理炉是在炉腔内把真空技术与热处理两个杂糅在一起，是在接近真空或者部分真空的状况下进行热处理作业。真空状况可以依据真空炉要求的不同而划分为低、中、高和超高真空体系。现在大多数真空热处理炉的作业真空度在1.33~1.33×10ˉ3Pa。
1.低真空体系   
    低真空体系适用于真空度在2～1333Pa规模的真空热处理炉，如预抽低真空井式炉。大多以油封式旋转机械泵为主泵。
2.中真空体系
    中真空体系适用于真空度在3X10～～1.333Pa规模的真空热处理炉。中真空体系在真空热处理炉中使用较为广泛，其一般由两级真空泵机组组成。初级泵多选用旋转机械泵或滑阀式机械泵，主泵为机械增压泵或油增压泵。 
3.高真空体系 
    高真空体系适用于真空度在6.6×10～～1.333 X 10ˉ3Pa规模的真空热处理炉，如真空退火炉、真空钎焊炉，一般由三级真空泵机组组成，主泵一般选用油扩散泵、离子泵，初级泵大都也是选用旋转机械泵或滑阀式机械泵。