真空炉主要是用来处理金属资料的，许多金属资料都是经过高温来加工或作其他生产。
    从理论上讲，金属资料都可以在真空炉中热处理。但因技能要求、加工本钱、工艺完成的难易程度等原因，下列资料（工件）不宜在真空炉中热处理。
    1.高温对N元素灵敏，易构成有害效果的资料。真空炉为避免合金元素高温时挥发，通常在高温下充高纯氮气坚持分压，冷却时一般选用充氮冷却。故该类资料不宜用真空炉处理。
    2.碳素钢。从本钱视点考虑，碳钢价格较低，制品件价格较低，用真空炉处理实属糟蹋，除非高赢利工件或许工件已经没有加工余量，对表面质量要求苛刻时的权宜之计。
    3.某些使用特殊工艺的资料（工件）。比如为获取最佳机械性能，有些工件要求取得贝氏体，一般用等温淬火来完成，真空热处理炉很难完成；再如T10钢，要求高硬度、低变形，一般用水淬油冷工艺完成，真空炉虽然可以用高压气淬取得高硬度，但因在Ms点以下温度冷速较快，变形较大。