1.真空炉膛：这是真空烧结炉进行烧结进程的首要组件，它被规划成能够接受高温和真空条件。
2.加热元件：担任提供真空烧结炉所需的高温。根据详细应用，可以运用不同类型的加热元件，包括石墨、钨或钼。
3.真空泵：用于在室内产生真空。有不同类型的真空泵，如旋转叶片泵、扩散泵和分子泵，每种泵具有不同的真空级别和抽气速度。
4.温度操控体系：对于操控加热速率、烧结温度和冷却速率至关重要。一般包括热电偶用于丈量温度和操控单元用于调整加热元件的功率。
5.装料体系：用于装载和卸载待烧结资料。根据生产进程的巨细和复杂性，可以是手动或主动的。
6.水冷体系：用于冷却炉壳和真空泵。