1、氰化钾(KCN)不行与酸类混置，因两者可发生剧毒之KCN气体。
2、除了做试验外，不要停留在高温炉管区。
3、一旦发现有阻碍安全之事物时，请当即通知有关人员(技术员等)。
4、请节省纯水用量。
5、试验工作结束时，若无人持续运用，请关特别气体，保留N2流动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如:cleanhood灯光、煮酸用的小电炉或其它，请随手关掉。
6、处理HF时，请戴手套，如不当心碰到HF时，请马上冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15'。
7、长短推杆之前端，在还没运用到时，请朝上避免污染。
8、晶片进出炉口时，承接boat的holder，请勿碰触炉管口，避免污染炉管。
9、石英玻璃制品请当心运用，避免决裂，引起严重割伤。
10、避免吸入从真空气氛炉或处理槽所冒出之各种气体。

11、破晶片、滤纸、棉花棒等，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，避免因排水不良形成地板渍水。