虽然真空气氛炉在进行烧结与气氛热处理时有着很好的优势，但在真空烧结时，常产生金属的挥发丢失，关于含碳材料的脱碳可以用添加粉末料中的含碳量以及控制真空度来解决，除此之外，还需要在运用过程中注意以下内容：
　 1、氰化钾(KCN)不可与酸类混置，因两者可产生剧毒之KCN气体。
　 2、除了做实验外，不要停留在高温炉管区。
　 3、一旦发现有阻碍安全之事物时，请当即告诉有关人员(技术员等)。
　 4、请节约纯水用量。
　 5、实验工作完毕时，若无人持续运用，请关闭特殊气体，保留N2活动，炉管保持在standby温度，并查看是否有其它电源该关而没有关，如：cleanhood灯火、煮酸用的小电炉或其它，请顺手关掉。
   6、处理HF时，请戴手套，如不当心碰到HF时，请马上冲水，用葡萄酸钙加2%之水，揉擦伤处15分钟。
　 7、长短推杆之前端，在还没运用届时，请朝上防止污染。
　 8、晶片进出炉口时，承接boat的holder，请勿碰触炉管口，防止污染炉管。
　 9、石英玻璃制品请当心运用，防止决裂，引起严重割伤。
　 10、防止吸入从炉子或处理槽所冒出之各种气体。
　 11、破晶片、滤纸、棉花棒等，请勿掉入清洗槽的底部排水孔，防止因排水不良造成地板渍水。