真空炉的走漏检测主要选用两种办法:喷吹法和吸嘴法。喷吹法是传统的走漏检测办法。它是将炉膛抽成真空,并在炉外施加氦气(比方连接氦质谱仪),然后调查成果。另一种办法是吸嘴检测法,适用于您的检测目标不能抽真空的状况。选用该办法时,您需要将一种示漏气体(比方氦气)充入被检测目标。被检测目标的比如包含换热器、水冷法兰、水冷风机和轴、电馈通、水套等。当被检测目标充入示漏气体后,运用传感器查看其外部是否有任何气体漏出。氦质谱仪也可用于这种检测办法。
惰性气体的走漏检测也很重要。这是由于,整个回充体系——从液态气体贮存体系直到真空炉——的走漏率必须为零。真空炉厂家了解到假如惰性气体从供气体系或者炉体上的气阀漏出,会使真空炉表现出抽气效果差、密封性差、极限真空度差、难以排出正常释气、返流等过错的痕迹。
一旦您打开回充阀和将回充储罐减压到大气压水平,真空炉就开端抽除管路中的气体。从气体储罐和蒸发器直到封闭的外部气阀,其中的气体都将被抽除。然后,您可以运用真空炉的抽气体系对整个回充体系进行抽气,使整套体系都达到真空状况。接下来,您应当运用氦质谱仪对体系进行走漏检测。
假如当你完成了新式真空炉和惰性气体的悉数走漏检测后,然后就需要一个一个来进行消除每一处走漏。