1、完全消除了加热过程中工件外表的氧化、脱碳，可获得无变质层的清洁外表。这对于那些在刃磨时仅磨一面的刀具(如麻花钻磨削后使沟槽外表的脱碳层直接暴露于刃口)切削性能的改进关系极大。
2、对环境无污染，不需进行三废处理。
3、真空炉炉温测定、监控精度明显进步，热电偶的指示值与炉温温度到达±1.5°c，但炉内大批工件不同部位的温差较大，若采用淡薄气体强制循环，仍可控制在±5°c温差范围内。
4、机电一体化程度高。在温度测控精度进步的基础上，工件移动、气压调理、功率调理等均可预先编程设定，按步骤实施淬火和回火。
5、能耗明显低于盐浴炉。现代先进的真空炉加热室采用优质隔热材料制成的隔热墙和屏障，可将电热能量高度集中于加热室内，节能效果明显。
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