① 真空计的选择。直空计根据极限压力、作业压力、气体成分、丈量精度等要求来选 择。真空计的布点应能代表真空设备最关怀方位的真空度。
   ② 承认真空抽气管路。主抽气管路规划，包括选择主阀、障板、阱等。粗抽与前级管 装备.包括油捕集器、过滤器、粗抽泵排气口油雾捕集器、消声器、各种阀门等。这些管路 元件是按需求选择的，各类真空设备要求不同，装备亦不同。
    根据管路中各种管道及元件核算出流导值是否满足规划要求。管道的选择遵从粗而短的 原则。一般来讲.管道的直径与真空泵进口直径适当。
   ③ 真空泵选型。真空泵的种类根据④的原则承认后，尚需根据极限压力、作业压力、 抽气时刻、管路流导等要素，核算真空泵的抽速，承认主泵型号，并装备前级泵、粗抽泵， 以及承认管路中各种真空元件，制作真空系统抽气原理图。
   ④ 真空材料的选择。真空炉的真空系统中运用的材料首要包括两类，即壳体材料及密封材料。真空炉的 真空室及管路所用材料称为壳体材料，而各种静密封及动密封材料统称为密封材料。无论是 壳体材料，仍是密封材料，选择的首要根据是真空设备的真空度。超高真空设备，壳体材料 有必要用不锈钢，而密封材料选择金属材料。高真空设备，壳体材料用不锈钢或许碳钢均可 以，首要考虑生产工艺进程发生的气体是否对材料有腐蚀。一般选用不锈钢或碳钢镀镣，或 其他涂敷工艺。密封材料选择橡胶密封。低真空设备选择材料首要考虑被抽气体是否有腐蚀 性问题。
真空管路的粗抽管道及前级管道，_般选择无缝钢管,而高真空管道材料与真空室壳体 材料相同。
   ⑤ 真空检漏。真空炉内真空室的漏率操控非常重要，在真空系统规划时，需求共同考虑，特别 是大型真空系统，倘若考虑不周，或许出现局部焊缝无法检测。真空系统检漏包括制定检渝 计划、检漏仪器选择、检漏方法承认，以及加工进程中不同工序的检漏，毕竟给出点评 成果Q
真空室及管路、元件所需漏率根据真空度要求承认，只要能满足作业压力、极限压力及 本底压力即可，无需求求过高，否则将添加无谓的制作本钱。 一.
   ⑥ '焊接方法选择。根据壳体材料及其空设备所需真空度选择焊接手法真空容器" 一般选用内焊缝，有利于清洗，不会构成死空间，有利于抽骂
冷/真洁籍非中各利'元件均需通过机械加匚在加工中会遭到润/ 誓液、汗痕，以及环境的污染。为了取得预期的其空度，有必要选用不同方法进行清m 处理G