真空烧结炉是指在真空环境中对被加热物品进行保护性烧结的炉子，其加热方法比较多，如电阻加热、感应加热、微波加热等。真空烧结炉的子类真空烧结炉有碳化硅高温真空烧结炉、真空等静压烧结炉、真空加压快冷烧结炉、单室卧式热压烧结真空炉等。
那么真空烧结炉在运用的时分要注意哪些方面？
第一、真空烧结炉的操控柜安装在相应的地基上，并固定。
第二、查看真空烧结炉的操控柜中所有部件及配件是否完备、无缺。
第三、安照接线图，并参阅电气原理图，接通外接主回路及操控回路，并可靠接地，确保接线无误。
第四、手动调压旋钮逆时针旋动头。 真空烧结炉的报警钮放在开位。
第五、查看电器可动部分应活动自若，无卡死现象。，绝缘电阻应不低于2兆欧姆。
第六、真空烧结炉各阀门必须在封闭方位。  真空烧结炉的操控电源开关放在关位。
第七、按平面图完结设备的循环冷却水联接，建议用户在设备总进出水管处再接入一备用水（可用自来水），防止循环水有故障或断电导致密封圈烧坏。
真空烧结炉首要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及常规烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺配备，它规划构思新颖，操作便利，结构紧凑，在一台设备上可完结多个工艺流程。