真空炉可分为真空淬火炉、真空钎焊炉 、真空退火炉、真空加磁炉、真空回火炉、真空烧结炉、真空扩散焊炉、真空渗碳炉等多种工艺的热处理炉，首要用来处理金属资料，但是据说有3种资料是不适合用真空炉来进行处理
　　1、碳素钢。从成本视点考虑，碳钢价格较低，制品件价格较低，用真空炉处理实属糟蹋，除非高利润工件或许工件已经没有加工余量，对表面质量要求苛刻时的权宜之计。
　　2、高温对N元素灵敏，易构成有害果的资料。真空炉为避免合金元素高温时挥发，通常在高温下充高纯氮气保持分压，冷却时般选用充氮冷却。故该类资料不宜用真空炉处理。
　　3、某些使用殊工艺的资料（工件）。比方为获取 佳机械性能，有些工件要求取得贝氏体，般用等温淬火来完成，真空热处理炉很难完成；再如T10钢，要求高硬度、低变形，般用水淬油冷工艺完成，真空炉虽然可以用高压气淬取得高硬度，但因在Ms点以下温度冷速较快，变形较大。