它适用于真空度在1333～2Pa规模的真空热处理炉，如预抽低真空井式炉。大多以油封式旋转机械泵为主泵的体系。
      中真空体系
      它适用于真空度在1.333～3×10Pa规模的真空热处理炉。中真空体系在真空热处理炉中使用广泛，其一般有两级真空泵机组组成。初级泵多选用旋转机械泵或滑阀式机械泵，主泵为机械增压泵（罗茨泵）或油增压泵。
    高真空体系
      它适用于真空度在1.333×1O～6。6×10Pa规模的真空热处理炉，如真空退火炉、真空钎焊炉。其一般有三级真空泵机组组成，主泵一般选用油分散泵、离子泵，初级泵大都也是选用旋转机械泵或滑阀式机械泵，前级泵为机械增压泵（罗茨泵）或油增压泵。
      真空体系的基本参数
      真空热处理炉的真空体系主要参数有、作业真空度、抽气时间、抽气速率、漏气率（压升率）。
      真空度真空炉在空炉、冷态下所能达到的高真空度称为真空度。真空度是查核真空炉各零部件的加工和安装质量、真空机组的抽气才能与真空、炉体的密封与漏气和真空卫生情况的重要指标。一般，真空炉的真空度应低于主泵一个数量级左右。
真空炉的修理
     真空气氛炉加热功率的复校跟着炉子使用时间的延长，隔热屏的热阻变小，电热元件挥发而电阻变大等因素的影响，应适当添加功率。在生产实际作业中，一般用经验计 算法确认功率，图4—15所示为石墨毡或耐火纤维毡隔热屏真空炉的容积与加热功率的联系曲线图。按该图能够确认1300。C的真空炉加热功率。若为金属隔 热屏的真空炉，则查得的加热功率需添加30％左右。
    隔热屏的修理隔热屏在真空炉中起隔热、保温效果，有时也作为固定加热器的结构根底。隔热屏结构一般有四种类型：全金属隔热屏、夹层式隔热屏、石墨毡隔热屏和混合毡隔热屏。不同的隔热屏，在修理时应掌握其要点。
    全金属隔热屏一般在靠近电热元件的1—2层选用钼、钨资料，外面几层可用不锈钢资料，厚度应尽量薄些（中、小型炉一般为o．2。0．5mm。大型炉为 o．5～1．Omm）；隔热屏在安装前需将外表加工成为光洁状况，以下降黑度，增强反射效果。1300。C炉子的隔热屏层数一般为5～6层，层间间隔为 5～10mm。几层辐射板连接的接触面积不宜太大，以减少热短路。隔热屏应有胀缩量，并做成可拆式的，便于下次修理。