真空炉走漏检测的过程是：
　　1、在开端任何检测之前，都要保证氦走漏检测仪经过标定(使用标准漏孔进行查看)且性能正常。向检测仪外壳内部喷入少数气体，以承认检测仪自身没有任何走漏。别的，也要查看走漏检测仪与真空炉连接点的走漏状况。
　　2、在球阀处于封闭的状态下将走漏检测仪连接到粗抽管路的端口上。
　　3、承认分散泵和粗抽泵的水路已经翻开。
　　4、启动维持泵和粗抽泵。
　　5、在启动分散泵前手动翻开前级管路，查看其走漏状况。完结这项查看后要保证封闭前级管路阀。
　　6、渐渐翻开球阀，使氦走漏检测仪与体系接通。
　　7、向前级管路和粗抽体系的一切焊缝、螺纹接口和法兰喷吹少数氦气，查看这些部位的走漏状况。
　　8、对这项开始检测发现的任何走漏进行修正。
　　9、假如发现并修正了任何走漏，则重复执行过程5)–7)并再次查看走漏状况。
　　10、假如未发现新的走漏，就封闭走漏检测仪球阀，启动分散泵，将其预热45分钟。
　　11、开端正式检测，将炉室抽真空到水平。
　　12、假如炉室达不到高真空度，稍微翻开通往走漏检测仪的球阀，对炉室、增压泵泵壳、架空管路和真空切换管路上的一切法兰、螺纹接口和焊缝进行查看。对这一步发现的任何走漏进行修正。
　　13、现在以较大流量喷吹氦气，对整个体系进行仔细查看。
　　14、假如未发现新的走漏，就封闭通往走漏检测仪的球阀，将检测仪与体系脱开。
　　15、现在，真空炉应当得到了全面查看，可以为恢复生产作好预备。
　　16、假如没有发现外部氦气走漏，但走漏率测验结果依然显现炉室的走漏率较高，还有其他几种可能性：
　　1)气体通过气体回充阀或分压阀(比如氮气或氩气)进入炉室。拆下这些阀，查看是否有尘埃、密封或膜片是否无缺。
　　2)从气冷式换热器向真空中漏水。将换热器从真空炉上拆下，查看钎焊接合部位是否有水积累。用空气对换热器加压到大约100磅/平方英寸表压，在一切钎焊部位刷上肥皂水看是否发生气泡。假如有必要，将换热器浸入水槽中，查看是否有气泡冒出。浸没在水中后，换热器在重新安装到真空炉体系中之前必须在加热炉内彻底烘干。这时，要在300?F下坚持4小时，以使任何剩余的水分彻底蒸腾。
　　17、假如一切这些措施均不收效，则应考虑水从炉室水套漏入真空的可能性。水也可能从其他水套漏入真空，比如增压泵或换热器水套。拆下高温区的一切部件，查看是否有漏水发生的积水痕迹。假如没有发现明显的痕迹，用空气对水套加压到大约30磅/平方英寸表压，在一切焊缝和接合部位刷上肥皂水看是否发生气泡。有时，炉室中心会因出现裂纹甚至腐蚀而发生走漏。炉室存在的一切走漏都必须焊接修正和进行检测，不能有任何气泡发生。
　　18、从换热器、真空室或其他水套漏入真空的水通常会使粗抽泵油变色(走漏严峻时变成乳白色，轻微时略有褪色)。假如漏水严峻，炉室将不能抽真空到1托以下。假如炉室或换热器外壳的底部积累了游离水，它们会逐步凝结成冰。有时，看上去就像是炉室或换热器箱体的空气侧结了霜。
　　请记住，氦走漏检测仪的呼应时间仅仅反映了走漏的面积，准确的走漏位置必须通过进一步分析才能确认。同一个区域常常存在着一处以上的走漏。
　　假如使用氦走漏检测仪未发现任何走漏，这并不意味着肯定没有走漏。要记住，检测手段是压升率测验。