真空炉在平时的实验中如果有液体存在，就需要一个液体蒸腾的进程（高真空下不需要加热也能气化），可以通过长期拉真空来气化掉这部分液体从而达到高真空（等稳定),如果长期都达不到目标气压的话，就要考虑体系和罗茨泵了，你可以直接测一下罗茨泵的极限真空（不接入其他体系），若无缺则便是体系的密封功能了。
   (1)水冷设备，真空热处理炉的炉壳、炉盖、电热元件导别处置(水冷电极)、中间真空隔抢手等部件，均在真空、受热状态下作业。在这种极为不利的条件下作业，必须保证各部件的结构不变形、不损坏，真空密封圈不过热、不焚毁。因而，各部件应该根据不同的状况设置水冷设备，以保证真空热处理炉可以正常运行并有满足的使用寿命。
   (2)选用低电压大电流：在真空容器内，当真空空度为几托一lxlo-1托的范围内时，真空容器内的通电导体在较高的电压下，会发生辉光放电现象。在真空热处理炉内，严峻的会发生弧光放电，焚毁电热元件、隔热层等，形成重大事故和损失。因而，真空热处理炉的电热元件的作业电压，一般都不超过80一100伏。一起在电热元件结构规划时要采纳有效办法，如尽量防止有顶级的部件，电极间的距离不能太小窄，以防止辉光放电或许弧光放电的发生。
   (3)大部分加热与隔热材料只能在真空状态下使用：真空热处理炉的加热与隔热衬料是在真空与高温下作业的，因而对这些材料提出了耐高温，蒸汽压低，辐射作用好，导热系数小等要求。对抗氧化功能要求不高。所以，真空热处理炉广泛选用了钽、钨、钼和石墨等作加热与隔热构料。这些材料在大气状态下极易氧化，因而，常规热处理炉不能选用这些加热与隔热材料。
   (4)严厉的真空密封：众历周知，金属零件进行真空热处理均在密闭的真空炉内进行，因而，取得和维持炉子原定的漏气率，保证真空炉的作业真空度，对保证零件真空热处理的质量有着非常重要的意义。所以真空热处理炉的一个关键问题，便是要有牢靠的真空密封结构。为了保证真空炉的真空功能，在真空热处理炉结构规划中必须道循一个基本原则，便是炉体要选用气密焊接，一起在炉体上尽量少开或许不开孔，少选用或许防止选用动密封结构，以尽量削减真空走漏的时机。安装在真空炉体上的部件、附件等如水冷电极、热电偶导出设备也都必须规划密封结构。
   (5)自动化程度高：真空热处理炉的自动化程度之所以较高，是因为金属工件的加热、冷却等操作，需要十几个乃至几十个动作来完结。这些动作内在真空热处理炉内进行，操作人员无法接近。一起，有些动作如加热保温结束后，金属工件进行淬火工序须六个动作并且要在15秒钟以内完结。在这样迅速的条件来完结许多动作，是很简单形成操作人员的严重而构成误操作。因而，只有较高的目动化才干精确、及时按程序协调集。