冷却水路应坚持畅透，否则水温升高形成停机。这是真空炉作业常常披忽视的问题当无人办理时可能会导致真空炉的严重破坏。用生物分解化学辅佐方法处理冷却水，目的是坚持矿物质呈悬浮态，削减橡皮管、蛇形管和水套内沉淀物累积，以使水流疏通。
   这一般选用一种自动设备来结束，它能够监测水的导电性，自动补偿化学剂，冲冼水路，增加新鲜水。与隶属蒸气过滤系统合作，这种方法还能够保证水的pH值控制，防止在冷却水系统中剩下矿物质堆积。在系统作业安稳后，至少应每月一次进行水质试验以防过处理或欠过理。
   真空炉外壳和热交换器材料的试验样品也应放在水路系统中，每年做一次分量丢掉查验以查看处理的效果。对涣散泵的蛇形管冷却器有必要特别注意。应该常常查看。假如阻塞了，涣散泵将会过热并丢失功用，并且还进一步引起涣散泵加热器焚毁，形成贵重的、费时的修补。当蛇形冷却水管阻塞时，将水路同水源断开，排水并用压缩空气吹通或用稀醋酸溶液冲刷。
   关键是做好停电应急方法，控制柜应有电源急停设备。有必要做好停电的防备方法！碰上俄然停电时可用发电机抽冷却水，也可冲氮气冷却真空炉。防止真空炉因停电而超温损坏密封圈。真空炉的真空抽气系统中配备与电源联锁的自动阀门，在产生停电事端时能够关断抽气管路，防止空气和真空泵油进入炉内。