真空烧结炉首要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体保护烧结及惯例烧结，是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺配备，它设计构思新颖，操作便利，结构紧凑，在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。
   一、停电  
    1、停电时，假如断水，应立即接通备用的冷却水，接通水源。  
    2、假如在非升温、加热和冷却时，能够赶快恢复时，重新启动设备，继续工作如需求较长时间，则将设备保持原状。  
    3、假如正在加热和冷却时，能够赶快恢复时，重新启动设备，假如需求较长时间时，则保持原状，让设备天然冷却下来。 
   二、加热电源掉电  
    1、水压低，当水压低于0.15MPa，压力表报警。  
    2、接地毛病。  
    3、真空放电，水冷电极接头与加热器衔接处须要衔接结实，与反射屏绝缘要好。  
    4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时。电源呈现毛病，掉电的原因可以认为由于电介质击穿而引起的放电。  
   三、充气气体中止  
    1、抽真空开始前，气体充入时间长或者无法充入时，请承认气体管路是否被堵塞。  
    2、如气体管路没问题，检查电磁阀及气体充气阀的动作，为了安全与其相关联的设备要悉数中止后再进行检查。
    3、向真空室内充气不能中止的情况下，泄压阀动作如泄压阀动作时，要封闭气体供应阀及配管在内的所有气体系统。  
    4、承认气体充气配管是否有漏气的当地，如有会影响制品质量​