真空烧结炉运用后要进行烘干处理。在烘干初期，升温速度低，时间长，由于升温时真空烧结炉是冷的，炉体资料水分高，所以有必要进行烘干。
其次，炉膛资料、加热元件会被压坯中的低熔点杂质产生腐蚀，为了进步真空烧结炉的运用寿命，应定期净化炉膛。　　像高温热处理炉此类的工业炉要定期清理，因运用一氧化碳或其他含碳气体时，会分解出碳，沉积在炉壁上污染炉子。
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