以往，对真空炉的冷却方法主要有以下几种：第一种，炉内循环冷却，便是使用炉体内部的鼓风机带动炉内气体流动，通过内置换热器换热，达到冷却物料的意图；第二种：炉外循环冷却，便是使用引风机将气体引出，通过炉外的水冷换热器，再回到炉内，完成冷却物料的意图；第三种：便是使用炉内循环和炉外循环的结合方法冷却。以上冷却方法都是选用水冷换热器冷却的方法，由于换热介质水自身温度的限制，使得冷却消耗的时刻较长，影响出产功率。
   退火是一种金属热处理工艺，指的是将金属缓慢加热到必定温度，保持足够时刻，然后以适合速度冷却。意图是降低硬度，改进切削加工性;消除剩余应力，安稳尺度，减少变形与裂纹倾向:细化晶粒，调整组织，消除组织缺陷，退火可以将通过铸造、锻轧、焊接或切削加工的金属资料产生再结晶，改进塑性和耐性，消除剩余应力，使金属资料充分发挥其潜力，延伸其使用寿命。关于钛、锆、铪等稀有金属，他们在高温下性质活泼，易与碳、氧、氩、氢产生反响，所以这些资料的退火处理最好在真空环境中进行，以减少氧化和除氢，并降低剩余应力。