真空系统主要由真空泵、真空阀门和真空计等组成。石墨在真空炉上的使用，大大简化了真空炉的规划制造，减少了像钨、钼、钽、不锈钢等金属的耗费，降低了成本，提高了真空炉的某些性能和扩展了真空炉的使用范围。

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