真空炉热处理工艺一般包括加热、保温、冷却三个进程，有时只需加热和冷却两个进程。这些进程彼此衔接，不行连续。
      加热是热处理的重要工序之一。金属热处理的加热办法许多，最早是选用木炭和煤作为热源，然后运用液体和气体燃料。电的运用使加热易于操控，且无环境污染。使用这些热源可以直接加热，也可以经过熔融的盐或金属，致使起浮粒子进行直接加热。
    金属加热时，工件暴露在空气中，常常产生氧化、脱碳(即钢铁零件外表碳含量下降)，这关于热处理后零件的外表功用有很倒运的影响。因而金属通常应在可控气氛或维护气氛中、熔融盐中和真空中加热，也可用涂料或包装办法进行维护加热。
    高真空烧结炉加热温度是热处理工艺的重要工艺参数之一，挑选和操控加热温度,是确保热处理质量的首要问题。加热温度随被处理的金属材料和热处理的目的不同而异，但一般都是加热到相变温度以上，以取得高温组织。别的改变需求必定的时刻，因而当金属工件外表抵达要求的加热温度时，还须在此温度坚持必定时刻，使表里温度一同，使显微组织改变彻底，这段时刻称为保温时刻。选用高能密度加热和外表热处理时，加热速度极快，一般就没有保温时刻，而化学热处理的保温时刻往往较长。
    冷却也是热处理工艺进程中不行缺少的过程，冷却办法因工艺不同而不同，首要是操控冷却速度。一般退火的冷却速度最慢，正火的冷却速度较快，淬火的冷却速度更快。但还因钢种不同而有不同的要求，例如空硬钢就可以用正火相同的冷却速度进行淬硬。
    金属热处理工艺大体可分为全体热处理、外表热处理和化学热处理三大类。依据加热介质、加热温度和冷却办法的不同，每一大类又可区分为若干不同的热处理工艺。同一种金属选用不同的热处理工艺，可取得不同的组织，然后具有不同的功用。钢铁是工业上运用最广的金属，并且钢铁显微组织也最为杂乱，因而钢铁热处理工艺种类繁复。