紧缩空气的间断:
1、紧缩空气失常报警时,设备处于间断情况,应从速到备用的紧缩机房,让其恢复作业。
2、真空中如紧缩空气失常报警,且恢复需求较长时间时,则间断真空,让设备停下来。
真空烧结炉主要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺,可进行真空烧结,气体维护烧结及惯例烧结,是半导体专用设备系列中一种新颖的工艺装备,它规划构思新颖,操作便当,结构紧凑,在一台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他领域内的真空热处理,真空钎焊等工艺。下面,小编就为您介绍真空烧结炉的应急方法。
高真空烧结炉冷却水失常:
1、承认加热电源已间断。
2、炉外发生漏水,冷却水量失常时,应从速采用应急方法,如能确保水量,请继续坚持真空,如不能采用应急方法,坚持原状,承认设备冷却下来。
3、冷却水发生失常时,设备处于间断情况,马上接通紧急用冷却水。
4、在高温(逾越200℃即视为高温)时,假设冷却水间断了,假设不能紧急送水,水冷电极、换热器、真空室壳体及各泵或许被损坏。
停电:
1、停电时,假设断水,应立即接通备用的冷却水,接通水源。
2、假设在非升温、加热和冷却时,能够从速恢复时,重新启动设备,继续作业如需求较长时间,则将设备坚持原状。
3、假设正在加热和冷却时,能够从速恢复时,重新启动设备,假设需求较长时间时,则坚持原状,让设备天然冷却下来。
加热电源掉电:
1、水压低,当水压低于0.15MPa,压力表报警。
2、接地故障。
3、真空放电,水冷电极接头与加热器衔接处有必要衔接健壮,与反射屏绝缘要好。
4、若炉内压力为13.3-66.5Pa时(此真空度容易发生放电)。电源呈现故障,掉电的原因能够以为由于电介质击穿而引起的放电。
充气气体(氩气或氮气)间断:
1、抽真空开端前,气体充入时间长或许无法充入时,请承认气体管路是否被阻塞。
2、如气体管路没问题,查看电磁阀及气体充气阀的动作,为了安全与其相关联的设备要悉数间断后再进行查看。
3、向真空室内充气不能间断的情况下,泄压阀动作如泄压阀动作时,要封闭气体供应阀及配管在内的所有气体体系。
4、承认气体充气配管是否有漏气的地方,如有会影响制品质量。
真空室压力恶化:
1、真空排气时间比一般长时,应把设备停下来进行查看,根据真空室内构造物不同情况下放气的影响,也有导致压力升高的情况。
2、经过压力上升测验或许用氦气检漏来承认是漏气还有放气的影响。
在真空和维护性气氛中,对金属、陶瓷及一些难熔金属中心化合物粉末加热烧结,要获得必定密度和具有必定机械性能的资料时,一般选用两种工艺;即有压烧结和无压烧结。有压烧结工艺是将粉状资料置于真空和维护性气氛中的高碳模具中,高温加热到软化情况时,加压成型。这种工艺需求一种真空热压烧结才华实现。该烧结炉具有温度高、真空度高、热压力高的特征。现在这种炉型在我国还未见定型产品。