真空炉热处理工艺的操作流程：
　　1、工件在真空状态下淬火，应运用真空淬火油，此油具有较低的饱满蒸气压；
　　2、真空炉的保养应在真空或充纯氮状态下，避免平常不用时吸气，吸潮；
　　3、国内真空炉的压升率应不大于1.33Pa/h，国外某些企业的规范为0.67Pa/h；
　　4、真空回火炉应该具有快冷设备。冷却水的压力应该大于0.2Mpa，流量应可调；
　　5、处理钛合金时，不宜用氮气作为冷却气体，由于钛和氮在高温下反应，形成金黄色的氮化钛；
　　6、冷却气体：钢一般选用百分之99.995纯度的氮气，高温合金选用百分之99.999的氮气或氩气，钛合金选用百分之99.995的氩气；
　　7、真空加热以辐射为主，工件在炉内应该保持间距；
　　8、升温过程中，工件及炉内材料会放气，使真空度下降；
　　9、升温：放入工件后，一般先预抽至6.67Pa时方可升温加热；
　　10、真空回火、真空退火、真空固溶处理及真空时效的加热温度一般与常规处理时加热温度相同。