真空炉的工作进程如下:
(1)发动保持泵,一起翻开保持阀,对分散泵前级及管路抽真空。
(2)当真空压力低于规定值时,分散泵加热开端。
(3)当分散泵预热至规定温度后,机械泵发动,一起翻开粗抽阀对真空室抽低真空,当真空室真空度到达罗茨泵发动条件后罗茨泵发动。
(4)当真空室真空度到达分散泵敞开允许值时,粗抽阀和保持阀封闭,一起翻开前级阀和高阀,对真空室抽高真空。
(5)当真空室真空度到达真空炉加热条件后,真空炉加热发动并按工艺要求的温度曲线进行控温。
(6)当控温进程完成后,封闭高阀,对真空室充氮气并发动冷却风机循环冷却,当真空室温度低于100℃时即可翻开炉盖,取出工件。