真空烧结炉的常用元件：
    真空烧结炉常用石墨件件有石墨立柱、石墨连接片、石墨风管、石墨导电杆、石墨床板、石墨加热棒、石墨螺母、石墨横梁、石墨毡等制品。
    真空烧结炉主要用于半导体元器件和功率整流器件的烧结过程，可用于真空烧结、气体保护烧结和常规烧结。它是特种半导体设备系列中的一种新型工艺设备。设计理念新颖，操作方便，结构紧凑，可在一台设备上完结多种工艺流程。也可用于其他范畴的真空热处理、真空钎焊等工艺。