真空烧结炉是在抽真空后充氢气维护状态下，使用中频感应加热的原理，使处于线圈内的钨坩埚发生高温，经过热辐射传导到工作上，适用于科研、军工单位对难熔合金如钨、钼及其合金的粉末成型烧结。又分为卧式真空烧结炉和立式真空烧结炉两种，安装电炉的场所应符合真空卫生的要求，周围的空气应清洁和干燥，并有良好的通风条件，工作场地不易扬起尘埃等。

真空烧结炉首要用于半导体元器件及电力整流器件的烧结工艺，可进行真空烧结，气体维护烧结及常规烧结，是半导体用设备系列中新颖的工艺配备，它设计构思新颖，操作便利，结构紧凑，在台设备上可完成多个工艺流程。亦可用于其他域内的真空热处理，真空钎焊等工艺。