1、真空热处理炉加热元件资料
　　因为真空热处理炉内处于真空状况，因此，加热元件以热辐射方式向工件传递热量，此外，加热元件的挥发速度高于普通电炉。在规划真空热处理炉中加热元件的资料时需求考虑：选用电阻率较高的资料；较小的电阻温度系数；满足的高温机械强度；较小的热膨胀系数；不与炉内维护气氛及炉衬等发生化学反响；耐热性；易加工性等。此外，还需依据真空热处理炉的温度、结构、工艺要求、经济性等详细因素归纳考量后选择加热元件资料。
　　真空热处理炉中的加热元件依据资料不同可分为金属和非金属两种。金属加热元件所用资料有：镍铬合金、铁铬铝合金、铂、钼、钨、钽等；非金属加热元件有：碳化硅、二氧化钼、石墨等。真空电阻炉内常用电热资料类型及特性如表1 所示。
　　1.1、金属资料加热元件
　　镍铬、镍铬铁合金具有较高而安稳的电阻率，耐腐蚀及外表抗氧化性能好，在高温下有较好的强度，抗振荡、变形性能好，有杰出的加工性能和可焊性，广泛用于工业电炉，冶金、家用电器，机械制造，发热元件和电阻变阻器等资料。铁铬铝合金是一种高电阻合金资料，具有电阻率高、电阻温度系数小、耐高温寿命长、重量轻、价格便宜、外表热负荷较镍铬合金高等长处，在大气条件下比镍铬合金运用寿命长，特别适合在含有硫和硫化合物气氛中运用，是工业电炉，家用电器、红外线加热装置中理想的发热资料。以上两种合金在空气中的最高运用温度在1100~1300℃，考虑到金属蒸腾影响，在真空中的最高运用温度应略有降低。
　　为了延长铁铬铝合金在真空中的运用寿命，可先将由铁铬铝合金制成的加热元件在空气中加热到1000~1050℃，保持7~8 h，使其外表发生一层氧化膜。对用镍铬合金制成的加热器尽管没有维护的氧化薄膜，但在真空中仍然可以运用到1130~1170℃，而且具有杰出的耐热性与耐腐蚀性。
　　以上两类合金资料一般适用于真空热处理炉额外温度低于1000℃的情况下。对于额外温度高于1000℃甚至更高的真空热处理炉，加热元件则应选取难熔金属或非金属资料。难熔金属资料包含钨、钼、钽、铌、铂等，其间前三种资料较为常见。
　　额外温度在1000℃ ~1600℃( 少数可达1700℃)的真空炉，加热元件资料可选择钼丝或钼片作为发热体；温度低于2200℃情况下，可选用难熔金属钽作为加热元件资料，钽的加工性能优于钼，可以焊接，加工时边角料可以收回，可是不可在氢气气氛下运用，可是钽金属很昂贵，一般只在特别情况下用作加热元件资料；钨是运用温度最高的难熔金属，最高温度可达2 400～2500 ℃，但因为钨片耐冲击力差，质地很脆，加工时易发生裂纹，因此成品率很低。
　　1.2、非金属资料加热元件
　　碳化硅资料的运用温度高，可以在空气中运用， 资料价格低， 在空气中的运用温度可达1400℃，但在真空中元件间的电阻一致性差，易老化，新老元件不易匹配，需配调压器，并且，资料质脆，易开裂，且存在连接麻烦等问题，所以真空炉中很少运用。
　　二硅化钼资料的运用温度高，可以在空气中运用，在空气中最高运用温度可达1700℃，并且价格低廉，运用时需求配变压器，但考虑到资料在室温下脆，在1300℃变软，并且跟着真空度的进步，元件的最高运用温度会随之下降，故在真空炉中也很少采用。
　　石墨是最常见的真空热处理炉的非金属加热元件资料，具有耐高温、热膨胀小、抗热冲击、高温机械强度好、加工性能好、价格低廉、线膨胀系数挨近零、电阻温度系数小、容易得到高温、熔点高等长处，在真空热处理炉中得到广泛应用。
　　此外，运用石墨加热元件，可以使炉内气氛中含有低浓度的碳与残余气体中的氧气和水蒸气分子发生反响，发生净化效果，并能与已氧化的金属发生复原反响，起到一定的除锈效果。