从理论上讲，金属资料都可以在真空炉中热处理。但因技术要求、加工成本、工艺完成的难易程度等原因，下列资料(工件)不宜在真空炉中热处理。
　　1.碳素钢。从成本视点考虑，碳钢价格较低，成品件价格较低，用真空炉处理实属浪费，除非高赢利工件或许工件已经没有加工余量，对表面质量要求严苛时的权宜之计。
　　2.某些运用特别工艺的资料(工件)。比如为获取最佳机械性能，有些工件要求取得贝氏体，一般用等温淬火来完成，真空热处理炉很难完成;再如T10钢，要求高硬度、低变形，一般用水淬油冷工艺完成，真空炉尽管可以用高压气淬取得高硬度，但因在Ms点以下温度冷速较快，变形较大。
　　3.高温对N元素灵敏，易形成有害效果的资料。真空炉为防止合金元素高温时蒸发，通常在高温下充高纯氮气坚持分压，冷却时一般采用充氮冷却。故该类资料不宜用真空炉处理。