由高熔点金属制成的真空热处理炉加热元件会跟着真空度和温度的升高而蒸腾加重，如钼在1800℃、钽在2200℃、钨在2400℃以上运用时，蒸腾更为剧烈。石墨的熔点很高为3700℃，但其在真空中运用温度超过2400℃时也会敏捷蒸腾，为了按捺真空热处理炉加热元件在真空中的蒸腾，可在炉内通入一定压力的惰性气体或高纯氮气。用高熔点金属钼、钨、钽制成的真空热处理炉加热元件，在氧化和渗碳气氛中都会发生反应，因而不能在上述气氛中运用。钼在氧化性气氛中会生成极易升华的氧化钼，在渗碳性气氛中会生成高电阻率的碳化物，甚至形成电热元件开裂。

     石墨资料作为真空热处理炉加热元件在较低温度运用时，其蒸腾丢失很小，损坏多因为资料功能、应力损坏、氧化速度、机械电气毛病引起的损坏。石墨资料的材质对加热元件有较大影响，假如挑选颗粒过粗，材质不均匀的石墨资料做加热元件，部分缺陷会导致部分电阻过大，发生部分过热，导致运用寿命下降，甚至会烧断加热器；石墨加热器工作时发生的热应力会对其发生损坏。石墨在低温时导热功能良好，在高温时就下降为低温时的几分之一，形成真空热处理炉加热元件外表和心部的温度差，使断面伸长不一，发生热应力，损坏加热元件；石墨加热器的氧化生成物容易散逸，不会形成细密氧化膜保护层，从而使氧化连续进行，假如炉内密封不好或惰性气体纯度不行会加重真空热处理炉加热元件的氧化；炉内工件资料蒸发凝聚使石墨加热元件与绝缘件连电短路也会损坏真空热处理炉加热元件；当石墨加热元件与其它金属零件相互连接时，因为线膨胀系数差别大形成应力，使石墨件受挤压或拉伸，加快石墨加热元件开裂；此外石墨件加工、安装质量对真空热处理炉加热元件的运用寿命也有十分明显的影响，石墨件触摸面润滑程度不行会使触摸电阻过大，烧坏真空热处理炉加热元件，安装时过松会呈现因为触摸不良而发生的拉弧，从而烧坏加热器和接头，过紧则会因为石墨资料的塑性差而使其受力损坏。