真空炉高温除气工艺可以大大下降不锈钢出气率.通过使用实例,给出了真空炉高温除气和现场烘烤除气及二者结合除气的成果,分析了真空炉高温除气的有利因素,证明选用该工艺对于下降不锈钢出气率,然后取得超高真空具有明显的效果。
　　依据真空根本公式p=Q/S可知,要取得超高真空即低压力p,有下降气载Q和增大泵抽速S两大途径。真空技术发展到目前的水平,增大各种泵抽速的研讨已无太大发展。并且在细长型真空体系(如粒子储存环、加速器束流传输线等)中,泵的有用抽速受流导的约束,即便选用大抽速的泵,也不会对体系真空度发生大的影响。然后可知,取得超高真空的最有用途径是下降气载。一个超高真空体系中,资料的出气往往是气载的主要来历。从经济角度和空间方位等方面考虑,假如选用特别工艺能够使资料出气率下降1个数量级,比添加10倍的泵要经济、合理得多。因而,研讨先进工艺对资料进行处理,取得尽可能低的资料出气率一直是超高真空范畴的一个重要研讨课题。20世纪70年代,用真空炉高温烘烤去除锻炼时溶解在资料内部的各种气体(以H2为主),然后取得低出气率的除气工艺就在国外众多粒子加速器真空体系中得到了广泛的使用,也取得了料想的成果。国内许多真空设备元器件(如溅射离子泵泵芯、泵壳等)也选用真空炉除气的方法来取得较高的极限真空(大于5×10-9Pa)。